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 Cyber Optics社はウェハーのセット状態（姿勢）を検出するセンサを販売しております。
Cyber Optics社マッピングセンサに使用されているLaser光は0.05mmに絞られているため
ウェハー色の影響を受けない仕様になっているので高精度な検知を可能にしています。
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| EX-Q wafer mapping sensor |
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旧Hamaセンサーから技術を継承したしたウェハーマッピングセンサーExはサイバーオプティクス社の位置決めセンサーです。ローダー内のウェハーのセット状態（姿勢）を精密に検出します。0.05mmに絞られたレーザーで位置を検出するため高精度かつ高感度の検知が可能です。また、反射型マッピングセンサーでありながら、光学的な設計により被検知物の反射率の影響を受けにくくなっておりますので、異なる色のウェハーに対しても容易にご使用になることができます。
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| 【カタログのダウンロード】 |
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http://jp.cyberopticssemi.com/products/wafermapping |
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