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cyberoptics社

CyberOptics社はウェハーハンドリングに関連する各種センサーを供給しております。
1999年にHama Labs (ハマラボ)社と合併し、サイバーオプティクス社が両社の技術を融合し優れたセンサーを次々と開発しています。
Cyber Optics社はここでご紹介するウェハーマッピングセンサーとパーティクルセンサーの他にウェハー形状をした振動センサー、レベルセンサー、等を製造しています。
 
EX-Q wafer mapping sensor
旧Hamaセンサーから技術を継承したしたウェハーマッピングセンサーExはサイバーオプティクス社の位置決めセンサーです。ローダー内のウェハーのセット状態(姿勢)を精密に検出します。0.05mmに絞られたレーザーで位置を検出するため高精度かつ高感度の検知が可能です。また、反射型マッピングセンサーでありながら、光学的な設計により被検知物の反射率の影響を受けにくくなっておりますので、異なる色のウェハーに対しても容易にご使用になることができます。 EX-Q wafer mapping sensor
【カタログのダウンロード】
http://jp.cyberopticssemi.com/products/wafermapping
WaferSenseR Airborne Particle Sensor (APS)
エアボーンパーティクルセンサー(APS)は気中パーティクルカウンターウェハーで、その形状はウェハライクです。ウェハー取扱時のウェハー部分の気中のパーティクルを直接計測することができます。いつ、どこにパーティクルが多いのか、何がコンタミの原因かをリアルタイムに計測し、ワイヤレスでデーターを送出します。標準で0.1μmと0.5μmのサイズチャンネルを持っています。 WaferSense® Airborne Particle Sensor (APS)
【カタログのダウンロード】
http://jp.cyberopticssemi.com/products/wafersense/aps
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