■ トピックス − 新製品SPM Flex リリース − |
SPM Flexは、フレキシビリティと使い易さを備えた
低レベル有害ガス対応のガス漏洩検知警報器です。
・半導体製造工程での特殊ガス
・排気ガス中の大気汚染物質である窒素酸化物・硫黄酸化物
・ウレタン・接着剤製品の原料であるイソネシアネート系化学物質など
作業環境に存在する感知困難な低濃度ガスを検出します。
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シングルポイントモニター SPM Flex |
低レベル有毒ガス対応のシングルポイントモニターです。
30種類以上のガス種の検知を行うことができ、最大30mまでのサンプリング配管が可能です。
小型軽量で持ち運びが容易なバッテリー駆動タイプなので、電源のない場所での測定も可能です。
センサーは、ガス種により2週間用、1ヶ月用、3ヶ月用の3種類があります。 |
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4点連続ガスモニター CM4 |
4箇所を同時に連続的に観測が可能な有毒ガスモニターです。25種類以上のガス種に対応し、90mまでのサンプルリング配管が可能です。
テープル・ラック・ウォールの3種類のマウント形式があります。
センサーは、ガス種により1ヶ月用、3ヶ月用があります。 |
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72点連続ガスモニター
VERTEX |
8箇所の同時測定可
能な分析モジュールを9台まで搭載可能で、 最大72箇所同時検知が可能な有毒ガスモニターです。
40種類以上のガス種に対応し、最長120mまでのサンプリング配管が可能です。
操作はタッチパネルまたはキーボードにて行い、 設定の変更やデータの履歴をオンラインで見ることができます。
ポンプ、電源などシステム内部にバックアップ機を搭載していて、 故障した場合には自動的に復帰します。 |
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毒性・可燃性ガス検知器
MIDAS |
40種類以上あるセ
ンサーカートリッジは2年間保証で現場での校正は不要です。
毒性ガス、可燃性ガス、大気中ガスなど、半導体工場などで使用される殆どのガスに対応可能です。
熱分解モジュールを取り付けることで、NF3やPFC系ガスの検知が可能です。
センサーは、ガス種により、1年用、2年用、3年用があります。 |
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赤外線式ガスモニター IR-148 |
IR-148は光音響赤外センシング技術により、溶剤、冷却剤および有毒ガスをモニターする装置で
す。
水分による干渉を受けることなく、0.1ppmレベルの低濃度ガスを検知します。
測定対象ガスの濃度が一定値以上であれば警報を出力します。製造装置排気口、ダクト、
ガスキャビネットおよび作業エリアのモニターに最適です。サンプルポイントを装置から45m離れた場所に設置できます。
シンプルなデザインでとても使い易く、また、センサー交換の必要がなく、 最小限の保守で所有コストを非常に低く抑えることができるガスモニターです。 |
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