RMI リッチモアインターナショナル RICHMORE INTERNATIONAL
株式会社リッチモアインターナショナル
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INFICON社

薄膜プロセスの測定器からプロセスコントローラまで幅広い製品を販売しております。
特に薄膜デポジションに関連した製品に特化しており、プロセス監視装置、プロセス制御装置、制御ソフトウェアに加え、センサー、フィードスルーなども販売しております。
 
薄膜蒸着膜厚コントローラー  SQC310シリーズ
インフィコンSQC310は連続蒸着用SQC310と同時蒸着用SQC310C からお客様の最適なアプリケーションに最適なモデルを選択できます。 薄膜蒸着膜厚コントローラー  SQM310シリーズ
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pdf  SQC310カタログ
薄膜蒸着膜厚モニター  SQM160
測定チャンネルはオプションで6チャンネルまで可能、 膜厚とデポジションレートまたは周波数のいずれかを表示する
低価格な装置
薄膜蒸着膜厚モニター
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pdf  SQM160カタログ
STM-2(モニター) 
STM-2は、水晶振動子を用いた膜厚モニターが、手ごろなサイズと価格で可能です。お手持ちのPCに付属ソフトをインストールし、PCと膜厚測定センサーをSTM-2本体で結ぶだけで、セットアップは完了。PC上で積算膜厚、膜厚Rateのモニターが可能です。 STM-2(モニター) 
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pdf  STM-2カタログ
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