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各種分析・計測機器
各種分析・計測機器
Nordson Test & Inspection社
Nordson Test & Inspection社はウェハーのセット状態(姿勢)を検出するセンサを販売しております。Nordson Test & Inspection社マッピングセンサに使用されているLaser光0.05mmに絞られているためウェハー色の影響を受けない仕様になっているので高精度な検知を可能にしています。
Nordson Test & Inspection社に関する詳細はこちら
製品ラインナップ
Wafer Mapping Sensor
旧Hamaセンサーから技術を継承したウェハーマッピングセンサーExは、サイバーオプティクス社の位置決めセンサーです。ローダー内のウェハーのセット状態(姿勢)を精密に検出します。0.05mmに絞られたレーザーで位置を検出するため高精度かつ高感度の検知が可能です。また、反射型マッピングセンサーでありながら、光学的な設計により被検知物の反射率の影響を受けにくくなっておりますので、異なる色のウェハーい対しても容易にご使用になることができます。
Airbone Particle Sensor
気中パーティクルを迅速にモニターし、トラブルシューティングに役立てるウェハー形状のセンサー。半導体製造装置ないをトラベルさせながらBluetoothにて刻々データを送信するので、何処でどのタイミングで発塵しているのかをリアルタイムで突き止めることができます。
使用例
01 半導体メーカーおよび半導体製造装置
メーカー向け
02 電子部品メーカー向け
03 その他
Nordson Test & Inspection社
Nordson Test & Inspection社はウェハーのセット状態(姿勢)を検出するセンサを販売しております。Nordson Test & Inspection社マッピングセンサに使用されているLaser光0.05mmに絞られているためウェハー色の影響を受けない仕様になっているので高精度な検知を可能にしています。
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製品ラインナップ
Wafer Mapping Sensor
旧Hamaセンサーから技術を継承したウェハーマッピングセンサーExは、サイバーオプティクス社の位置決めセンサーです。ローダー内のウェハーのセット状態(姿勢)を精密に検出します。0.05mmに絞られたレーザーで位置を検出するため高精度かつ高感度の検知が可能です。また、反射型マッピングセンサーでありながら、光学的な設計により被検知物の反射率の影響を受けにくくなっておりますので、異なる色のウェハーい対しても容易にご使用になることができます。
Airbone Particle Sensor
気中パーティクルを迅速にモニターし、トラブルシューティングに役立てるウェハー形状のセンサー。半導体製造装置ないをトラベルさせながらBluetoothにて刻々データを送信するので、何処でどのタイミングで発塵しているのかをリアルタイムで突き止めることができます。
使用例
スクロールできます
01 半導体メーカーおよび半導体製造装置メーカー向け
02 電子部品メーカー向け
03 その他
SURAGUS社 非接触式シート抵抗・抵抗率測定装置
渦電流検査技術、EddyCus®システムにより導電性薄膜シート抵抗を測定。マッピング機能や分光透過率などのオプティカル測定機能を備えています。異方性測定が可能なのはEddyCus®だけです。PCとの連携でグラフ化や管理にも対応。
製品ラインナップ
EddyCus® lab 2020 TM (弊社デモ機あり)
最大200mm x 200mmのサンプルのシート抵抗と金属薄膜の膜厚を高速、高精度で測定。手動でのシングルポイント測定やマッピングも可能。オプションで広範囲な測定レンジや異方性の測定機能も追加可能。
<参考動画>
EddyCus® inline
固定式センサーやトラバース機構を用いた検査に対応、生産工程や品質管理の要求に合わせて柔軟に設計可能。大気圧・減圧両方に対応、コーティングや乾燥ライン、スパッタリング成膜ラインでも使用可能。
<参考動画>
EddyCus® lab 2020 RM
反射型渦電流センサーにより、半導体結晶インゴットやブール、肉厚な特殊基板の抵抗率、シート抵抗、金属膜厚を非接触で測定。
<参考動画>
EddyCus® map 2530
自動測定で超低～超高シート抵抗まで対応、1mm～のスキャンピッチで高分解能のデータイメージ化が可能。金属薄膜層の厚み測定と異方性センサーのオプションにも対応。
<参考動画>
EddyCus® portable（弊社デモ機あり）
接触式測定でガラスやフォイル製品の製造工程や検査で迅速な品質確認が可能。ラミネート構造の隠れた層も測定可能。
<参考動画>
使用例
・半導体材料の特性評価。薄膜の厚さやシート抵抗の測定、材料の均一性や欠陥の検出に利用
・薄膜の非接触特性評価。金属層の厚さ測定、シート抵抗、導電率、光学濃度、異方性の測定、膜の均一性や欠陥の検出などに利用
・炭素繊維強化複合材料の製造プロセスにおける品質管理。主に繊維の面密度測定、繊維配向の評価、ギャップ検出などに使用
・金属や合金、セラミックス、プラスチック材料等の特性評価。導電率や透磁率の測定、材料の均一性や欠陥の検出に使用
SURAGUS社 非接触式シート抵抗・抵抗率測定装置
渦電流検査技術、EddyCus®システムにより導電性薄膜シート抵抗を測定。マッピング機能や分光透過率などのオプティカル測定機能を備えています。異方性測定が可能なのはEddyCus®だけです。PCとの連携でグラフ化や管理にも対応。
製品ラインナップ
EddyCus® lab 2020 TM (弊社デモ機あり)
最大200mm x 200mmのサンプルのシート抵抗と金属薄膜の膜厚を高速、高精度で測定。手動でのシングルポイント測定やマッピングも可能。オプションで広範囲な測定レンジや異方性の測定機能も追加可能。
<参考動画>
EddyCus® inline
固定式センサーやトラバース機構を用いた検査に対応、生産工程や品質管理の要求に合わせて柔軟に設計可能。大気圧・減圧両方に対応、コーティングや乾燥ライン、スパッタリング成膜ラインでも使用可能。
<参考動画>
EddyCus® lab 2020 RM
反射型渦電流センサーにより、半導体結晶インゴットやブール、肉厚な特殊基板の抵抗率、シート抵抗、金属膜厚を非接触で測定。
<参考動画>
EddyCus® map 2530
自動測定で超低～超高シート抵抗まで対応、1mm～のスキャンピッチで高分解能のデータイメージ化が可能。金属薄膜層の厚み測定と異方性センサーのオプションにも対応。
<参考動画>
EddyCus® portable（弊社デモ機あり）
接触式測定でガラスやフォイル製品の製造工程や検査で迅速な品質確認が可能。ラミネート構造の隠れた層も測定可能。
<参考動画>
使用例
・半導体材料の特性評価。薄膜の厚さやシート抵抗の測定、材料の均一性や欠陥の検出に利用
・薄膜の非接触特性評価。金属層の厚さ測定、シート抵抗、導電率、光学濃度、異方性の測定、膜の均一性や欠陥の検出などに利用
・炭素繊維強化複合材料の製造プロセスにおける品質管理。主に繊維の面密度測定、繊維配向の評価、ギャップ検出などに使用
・金属や合金、セラミックス、プラスチック材料等の特性評価。導電率や透磁率の測定、材料の均一性や欠陥の検出に使用
お電話でのお問い合わせ
03-3440-0027 営業時間／9:00〜18:00(土・日・祝除く)
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