各種分析・計測機器

化学テープ式ガスモニター

SPM Flex

SPM Flexは、フレキシビリティと使い易さを備えた低レベル有害ガス対応のシングルチャンネルガス量検知警報器です。

・半導体製造工程での特殊ガス

・排気ガス中の大気汚染物質である窒素酸化物・硫黄酸化物

・ウレタン・接着剤製品の原料であるイソネシアネート系化学物質など

作業環境に存在する完治困難な低濃度ガスを検出します。

4点テープ式モニター VC4

VC4は長年広く愛用されてきた旧CM4の後継機種です。専用化学テープの色変化を電気光学センサーによりガス濃度として検知し、表示、発報をそれぞれのチャンネル毎に行います。

72点連続ガスモニター

VERTEX

8箇所の同時測定可能な分析モジュールを9台まで分析モジュールを9台まで搭載可能で、最大72ヶ所同時検知が可能な有毒ガスモニターです。40種類以上のガス種に対応し、最長120mまでのサンプリング配管が可能です。操作はタッチパネルまたはキーボードにて行い、設定の変更やデータの履歴をオンラインで見ることができます。ポンプ、電源などシステム内部にバックアップ機を搭載していて、故障した場合には自動的に復帰します。

電気化学式ガスモニターMIDAS

40種類以上あるセンサーカートリッジは2年間保証で現場での校正は不要です。毒性ガス、可燃性ガス、待機中ガスなど、半導体工場などで使用されるほとんどのガスに対応可能です。熱分解モジュールを取り付けることで、NF3やPFC系ガスの検知が可能です。

センサーは、ガス種により、1年間、2年間、3年間があります。

ハンディタイプガスモニター

VOCガスモニター、シングルガス/マルチガス検知器などがあります。

Wafer Mapping Sensor

旧Hamaセンサーから技術を継承したウェハーマッピングセンサーExは、サイバーオプティクス社の位置決めセンサーです。ローダー内のウェハーのセット状態(姿勢)を精密に検出します。0.05mmに絞られたレーザーで位置を検出するため高精度かつ高感度の検知が可能です。また、反射型マッピングセンサーでありながら、光学的な設計により被検知物の反射率の影響を受けにくくなっておりますので、異なる色のウェハーい対しても容易にご使用になることができます。

Airbone Particle Sensor

気中パーティクルを迅速にモニターし、トラブルシューティングに役立てるウェハー形状のセンサー。半導体製造装置ないをトラベルさせながらBluetoothにて刻々データを送信するので、何処でどのタイミングで発塵しているのかをリアルタイムで突き止めることができます。