水分計

水分計

TigerOptics社

TigerOptics社の CRDS方式(キャビティ・リングダウン分光方式)の分析装置はキャビティ内の両端に高反射率ミラー(またはプリズム) を配置しその一端からレーザー光を導入し、多重反射させこのレーザー光を遮断した後の漏出光の減衰速度からセル内部の近赤外光吸収を測定する分析方式です。減衰時間と測定対象成分の吸収断面積から直接濃度算出ができ、算出にミラーの反射率やレーザー強度も使用しないため、理想的な絶対測定ということができ、本質的に校正が不要です(御社の品質管理上必要であれば装置の状態を解析することができ、状態によりメーカーの証明書をお出しすることも可能です)。多重反射を使用し実質的光路長が極めて長いため高感度で、セル内部のガスを非接触でリアルタイムに連続測定でき尚且つ高速応答が得られます。また、絶対測定による高精度、高信頼の測定が可能で、極めて広い測定レンジを持っています。光吸収のある各種成分の分析が可能な装置ですが、従来測定が困難であった微量水分領域で簡単に正確な測定が実現されており、標準的な微量水分分析方式となりつつあります。なお、ここにご紹介しているのは代表的な機種であり、他にも各種装置を取り揃えてあります。

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製品ラインナップ

SPARK ローコスト水分アナライザー

・ガス中水分測定では絶対的なCRDS方式

・Auto Tune-Tau-Zero : 自動ゼロ点補正

・校正不要

・低ランニングコスト

・早い応答性

・2000ppmまで測定可能

・Ethernet/4-20mAアナログ電流出力/RS通信標準装備

HALO 3 H2O 微量水分アナライザー

同社のCRDS方式の水分分析装置の中で最もコンパクトかつ低価格で使いやすく、窒素中の水分の場合、検出下限1.5ppbで上限20ppmまでの測定レンジを持っています。

HALO KA H2O

超高純度ガスアナライザー

HALO 3 H2Oの上位機種で超高純度ガス分析用、窒素中の水分の場合、検出下限400pptで上限20ppmまでの測定レンジを持っています。

ALOHA/ALOHA+

アンモニア中微量水分

アナライザー

アンモニア (NH3)中の微量水分を測定する装置です。セル内部を減圧することで水に対するベースガス吸収の影響を低減しています。高輝度LED製造向きで、アンモニア中の水分の検出下限は10ppbです。

Tiger-i 環境汚染物質

アナライザー

タイガーオプティクス社のTiger-i は他の装置と異なりプロセスガス用ではなく、環境測定用の装置です。たとえば半導体の露光プロセスではクリーンルーム内にアンモニアガス、塩素ガス、フッ素系のガス等がTLV値よりもはるかに低い量で存在しますと露光機のレンズの曇り等の原因となりステッパーの解像度を下げることがあります。この装置は排気ポンプと組み合わせることで環境中の微量成分分析を行います。ガス種に応じた多種のモデルがあります。

トピックス

水分分析の基準となる水分量は現在では微量水分領域においても国際的な標準が確立しております。従来微量水分については明確な基準の無いまま分析がなされてまいりましたが、米国のNISTをはじめとした各国で水分量の一次標準を持っており、分析もこれに対するトレーサビリティを取る必要があります。

◼️参考文献

準備中

◼️微量水分領域の湿度標準

準備中

微量水分における国内の一次標準は産業技術研究所(AIST)に、二次標準は化学物質評価研究機構(CERI)にあり、公的な校正サービスも受けることができます。私共でも化学物質評価研究機構の校正サービスを直接CERIにお申し込みいただく場合と同じ金額で、お取次することができます。ご活用ください。

◼️化学物質評価研究機構

http://www.cerij.or.jp/service/07_analysis_and_evaluation/moisture_meter.html

TigerOptics社

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製品ラインナップ

SPARK ローコスト水分アナライザー

・ガス中水分測定では絶対的なCRDS方式

・Auto Tune-Tau-Zero : 自動ゼロ点補正

・校正不要

・低ランニングコスト

・早い応答性

・2000ppmまで測定可能

・Ethernet/4-20mAアナログ電流出力/RS通信標準装備

HALO 3 H2O 微量水分アナライザー

HALO KA H2O

超高純度ガスアナライザー

HALO 3 H2Oの上位機種で超高純度ガス分析用、窒素中の水分の場合、検出下限400pptで上限20ppmまでの測定レンジを持っています。

ALOHA/ALOHA+アンモニア中微量

水分アナライザー

Tiger-i 環境汚染物質アナライザー

トピックス

◼️参考文献

準備中

◼️微量水分領域の湿度標準

準備中

◼️化学物質評価研究機構

http://www.cerij.or.jp/service/07_analysis_and_evaluation/moisture_meter.html

MEECO社

MEECOは1948年以来、産業用の耐久性のある高品質のガス分析計を製造してきました。MEECOはペンシルバニア州ウォリントンに本社を置き、ハーバード大学で訓練を受けた物理学者であるGustav Bergson博士によって設立されました。1950年代までにE.Iとの取り決め。 DuPont DeNemoursにより、MEECOは、固体、天然ガス、および工業用特殊ガス中の微量水分を測定する機器の開発を手掛け、色、無線周波数、ジェット燃料の微小蒸気圧、ガス中の酸素などの異種元素を測定するための装置を製造する企業です。

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製品ラインナップ

Tracer2

Tracer2はLDL(検出下限)：1ppb/Udl(検出上限)：2000ppb(2ppm　N2ガスの場合)の微量水分分析計です。ノイズリダクションのため、周期的な水分添加をおこって測定するモードを有します。このモードを使用することによりppbオーダの水分を水分値50%、王等時間15分で測定します。

全ての設定を正面パネルのタッチキーで設定できるユーザフレンドリーな装置です。

Aquavolt/Aquavolt+

LDL：1ppb/UDL：1000ppmのAquavoltとLDL：3.5ppb/UDL：UDL：20ppmのAquavolt+の２種類の水分分析装置がございます。Inlet圧力が70kPaから21MPaまでのガス圧に対応できる汎用性をもち、正面パネルのタッチキーで設定入力できるユーザフレンドリーな装置です。

M-1

小型・軽量なM-1はLDL：0.5ppm/UDL：1000ppmの広い測定範囲をもつ微量水分分析計です。ガス配管を接続し毎分100ccの流量と直流電圧24Vを供給していただくだけですぐにガス中水分測定が開始可能です。付属のRSケーブルにData lopper等を接続して4-20mA電流出力が記録でき、2個のLEDAIarm表示で水分値がどの範囲にあるか一目で認識可能です。(Alarm表示はユーザ様のご要求条件で設定可能)

容易に組み込み可能でグローブボックスにも採用実績があります。

Accupoint2/Accupoint-LP2

LDL：1ppm/UDL：1000ppm(100cc version)とLDL：10ppm/UDL：5000ppm(10cc version)の2種類の装置がございます。排気ポンプを使用することで負圧状態のガスの水分測定も可能な微量水分分析計です。タッチキーで設定入力できるユーザフレンドリーな装置です。

WaterBoy 2

WaterBoy2はAccupoint2にバッテリーを組み込み、ポータブルにした微量水分分析計です。屋外、屋内を問わずガス中微量水分の絶対測定が可能な水分分析計です。

NastyBoy

NastyBoyは塩素ガス中微量水分測定専用装置です。配管をステンレスから樹脂に変更しcellの耐久性も高めました。万が一の塩素ガスのリークに備え、電装部分と通ガス部を分離し全体にバージ用のポートを設けております。